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Publicação

Impurities and defects in monocrystalline CZ silicon

dc.contributor.advisorDi Sabatino, Marisa
dc.contributor.advisorSerra, João Manuel de Almeida, 1958-
dc.contributor.authorPƔscoa, Soraia Sofia Anjos
dc.date.accessioned2014-12-22T15:05:56Z
dc.date.available2014-12-22T15:05:56Z
dc.date.issued2014
dc.date.submitted2014
dc.descriptionTese de mestrado em Engenharia da Energia e do Ambiente, apresentada à Universidade de Lisboa, através da Faculdade de Ciências, 2014por
dc.description.abstractPara o propósito desta tese, foram caracterizados quatro lingotes de silício CZ do tipo n com diferentes crown tapered angles e shouldering areas no sentido de compreender o comportamento do oxigénio e defeitos associados na parte superior do lingote e a sua influência no tempo de vida do material. Um lingote de silício CZ do tipo p foi igualmente caracterizado com o intuito de se ter material de referência para comparação. Diferentes tempos de vida foram observados entre as coroas e uma forte relação entre crown tapered angle e concentração e distribuição de oxigénio foi estabelecida. A coroa com maior tapered angle possuí o maior tempo de vida. Pelo contrÔrio, a coroa com menor tapered angle possuí o menor tempo de vida. A qualidade do corpo do cristal pode ser influenciada pela qualidade do topo do lingote no que toca à concentração e distribuição de oxigénio intersticial. Assim, analisando o início do corpo de cada lingote, pode ser possível prever a qualidade do corpo do cristal.por
dc.description.abstractFor the purpose of this thesis work, four n-type CZ silicon ingots with different crown tapered angle and shouldering area were characterized in order to understand the oxygen behavior and related defects on ingot top cuts and its influence on material lifetime. A p-type CZ silicon ingot was also characterized in order to have a reference material for comparison. Differences in lifetime between the crowns were observed and a strong correlation between the crown tapered angle and oxygen concentration and distribution was established. The crown with the higher tapered angle has the highest lifetime. In contrast, the crown with the lower crown tapered angle has the lowest lifetime. The crystal body quality can be influenced by the top ingot quality in what concerns the interstitial oxygen concentration and distribution. Thus, analyzing the early body of each ingot, it might be possible to predict the crystal body quality.por
dc.identifier.tid201323591por
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10451/15525
dc.language.isoengpor
dc.subjectSilĆ­cio CZ tipo npor
dc.subjectCrown tapered anglepor
dc.subjectShouldering areapor
dc.subjectTempo de vidapor
dc.subjectOxigƩnio intersticialpor
dc.subjectTeses de mestrado - 2014por
dc.titleImpurities and defects in monocrystalline CZ siliconpor
dc.typemaster thesis
dspace.entity.typePublication
rcaap.rightsopenAccesspor
rcaap.typemasterThesispor
thesis.degree.disciplineDepartamento de Engenharia GeogrƔfica, Geofƭsica e Energiapor
thesis.degree.levelMestrepor
thesis.degree.nameMestrado em Engenharia da Energia e do Ambientepor

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